真空紫外レ-ザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

• Material Type: 図書
• Title: 真空紫外レ-ザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断
• Title Transcription: シンクウ シガイ レ-ザ ブンコウホウ ニ ヨル プロセスプラズマ チュウ ノ ゲンシジョウ ラジカル ノ キソウ ・ ヒョウメン ハンノウ シンダン
• Author/Editor: 橘, 邦英, 京都大学
• Author Heading: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 原子状ラジカル ゲンシジヨウラジカル; 真空紫外レ-ザ シンクウシガイレ-ザ; 吸収分光法 キユウシユウブンコウホウ; プロセスプラズマ プロセスプラズマ; 誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ; 炭素原子 タンソゲンシ; 酸素原子 サンソゲンシ; 絶対密度測定 ゼツタイミツドソクテイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13480126
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13480126
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007087986; http://id.ndl.go.jp/bib/000007087986
• Bibliographic Record Category (NDL): 214