薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 薄膜マイクロ構造機械的特性評価試験機の試作
Title Transcription: ハクマクマイクロコウゾウキカイテキトクセイヒョウカシケンキノシサク
Author/Editor: 駒井, 謙治郎, 京都大学
Author Heading: 著者：駒井, 謙治郎, 1939- コマイ, ケンジロウ, 1939- ( 00129741 )Authorities
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: マイクロマテリアルマイクロマテリアル
薄膜ハクマク
機械的特性キカイテキトクセイ
引張試験ヒツパリシケン
微小部ひずみ測定ビシヨウブヒズミソクテイ
ポリシリコン薄膜ポリシリコンハクマク
疲労試験ヒロウシケン
弾性係数ダンセイケイスウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555025
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555025
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088073
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088073
Bibliographic Record Category (NDL): 214