Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発

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Material Type: 図書
Title: Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発
Title Transcription: Walking Drive オリヨウシタチョウセイミツアライメントテ-ブルノカイハツ
Author/Editor: 社本, 英二, 名古屋大学
Author Heading: 社本, 英二シヤモト, エイジ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 超精密アライメント装置チヨウセイミツアライメントソウチ
半導体製造装置ハンドウタイセイゾウソウチ
圧電素子アツデンソシ
XYθテ-ブル XYシ-タテ-ブル
位置決め装置イチギメソウチ
真空シンクウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555036
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555036
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088079
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088079
Bibliographic Record Category (NDL): 214