基板面外駆動マイクロアクチユエ-タの試作研究

• Material Type: 図書
• Title: 基板面外駆動マイクロアクチユエ-タの試作研究
• Title Transcription: キバンメン ガイ クドウ マイクロアクチユエ-タ ノ シサク ケンキュウ
• Author/Editor: 秦, 誠一, 東京工業大学
• Author Heading: 秦, 誠一 ハタ, セイイチ
• Publication Date: 2001-2002
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: MEMS MEMS; 微細加工 ビサイカコウ; 薄膜 ハクマク; アモルフアス アモルフアス; 金属ガラス キンゾクガラス; 静電アクチユエ-タ セイデンアクチユエ-タ; 情報機 ジヨウホウキ; 物性 ブツセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555073
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555073
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007088099; http://id.ndl.go.jp/bib/000007088099
• Bibliographic Record Category (NDL): 214