高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フオトレジスト剥離技術

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Material Type: 図書
Title: 高収益超短時間半導体製造を実現する気液混合型フオトレジスト剥離技術
Title Transcription: コウシュウエキチョウタンジカンハンドウタイセイゾウオジツゲンスルキエキコンゴウガタフオトレジストハクリギジュツ
Author/Editor: 須川, 成利, 東北大学
Author Heading: 須川, 成利スガワ, シゲトシ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: フオトレジスト剥離フオトレジストハクリ
気液混合キエキコンゴウ
プラズマアツシングプラズマアツシング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555084
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555084
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088102
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088102
Bibliographic Record Category (NDL): 214