ULSI極微細配線におけるGHzエレクトロマイグレ-シヨン耐性限界評価法の確立

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Material Type: 図書
Title: ULSI極微細配線におけるGHzエレクトロマイグレ-シヨン耐性限界評価法の確立
Title Transcription: ULSI キョクビサイハイセンニオケル GHz エレクトロマイグレ-シヨンタイセイゲンカイヒョウカホウノカクリツ
Author/Editor: 益, 一哉, 東京工業大学
Author Heading: 著者：益, 一哉, 1954- マス, カズヤ, 1954- ( 001124168 )Authorities
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 集積回路シユウセキカイロ
シリコンシリコン
微細配線ビサイハイセン
エレクトロマイグレ-シヨンエレクトロマイグレ-シヨン
高速信号処理コウソクシンゴウシヨリ
伝送線路配線デンソウセンロハイセン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555090
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555090
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007088107
http://id.ndl.go.jp/bib/000007088107
Bibliographic Record Category (NDL): 214