図書

窒素ラデイカル・スパツタ法によるアモルフアス窒化炭素の創製と光伝導等への応用

Icons representing 図書

窒素ラデイカル・スパツタ法によるアモルフアス窒化炭素の創製と光伝導等への応用

Call No. (NDL)
Y151-H13650008
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089055
Material type
図書
Author
仁田, 昌二, 岐阜大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッソ ラデイカル ・ スパツタホウ ニ ヨル アモルフアス チッカ タンソ ノ ソウセイ ト ヒカリデンドウ トウ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
仁田, 昌二, 岐阜大学
Author Heading
仁田, 昌二 ニッタ, ショウジ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
窒化炭素 チツカタンソ
光伝導体 ヒカリデンドウタイ
低誘電率媒体 テイユウデンリツバイタイ
重粒子の検出 ジユウリユウシノケンシユツ
光感度 ヒカリカンド
レイヤ-・バイ・レイヤ-法 レイヤ-・バイ・レイヤ-ホウ
薄膜 ハクマク
酸素プラズマ サンソプラズマ