絶縁プロ-ブ法によるRF放電プラズマのモニタリングにおける検出感度の改善

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Material Type: 図書
Title: 絶縁プロ-ブ法によるRF放電プラズマのモニタリングにおける検出感度の改善
Title Transcription: ゼツエンプロ-ブホウニヨル RF ホウデンプラズマノモニタリングニオケルケンシュツカンドノカイゼン
Author/Editor: 出口, 幹雄, 新居浜工業高等専門学校
Author Heading: 出口, 幹雄デグチ, ミキオ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: RFプラズマ RFプラズマ
反応性プラズマハンノウセイプラズマ
プロ-ブプロ-ブ
モニタリングモニタリング
絶縁プロ-ブ法ゼツエンプロ-ブホウ
プラズマプロセスプラズマプロセス
プロセシングプラズマプロセシングプラズマ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650058
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650058
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089083
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089083
Bibliographic Record Category (NDL): 214