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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スパツタ オヨビ イオン チュウニュウホウ デ サクセイ シタ マイクロマテリアル ノ ドウテキ トクセイ ヒョウカ
- Author/Editor
- 中佐, 啓治郎, 広島大学
- Author Heading
- 中佐, 啓治郎 ナカサ, ケイジロウ
- Publication Date
- 2001-2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2001
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)