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超純水による加工現象の第一原理分子動力学シミユレ-シヨン

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超純水による加工現象の第一原理分子動力学シミユレ-シヨン

Call No. (NDL)
Y151-H13650117
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089125
Material type
図書
Author
後藤, 英和, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウジュンスイ ニ ヨル カコウ ゲンショウ ノ ダイイチ ゲンリ ブンシ ドウリョクガク シミユレ-シヨン
Author/Editor
後藤, 英和, 大阪大学
Author Heading
後藤, 英和 ゴトウ, ヒデカズ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
第一原理分子動力学シミユレ-シヨン ダイイチゲンリブンシドウリキガクシミユレ-シヨン
平面波基底 ヘイメンハキテイ
超純粋電解加工法 チヨウジユンスイデンカイカコウホウ
シリコン単結晶表面 シリコンタンケツシヨウヒヨウメン
水酸化物イオン スイサンカブツイオン
水素イオン スイソイオン
エツチング エツチング
酸化反応 サンカハンノウ