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窒化アルミインジウムガリウム砒素の五元混晶成長と光電子集積回路実現への基礎検討

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窒化アルミインジウムガリウム砒素の五元混晶成長と光電子集積回路実現への基礎検討

Call No. (NDL)
Y151-H13650358
Bibliographic ID of National Diet Library
000007089297
Material type
図書
Author
淀, 徳男, 大阪工業大学
Publisher
-
Publication date
2001-2002
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッカ アルミインジウムガリウムヒソ ノ ゴゲンコンショウセイチョウ ト コウデンシ シュウセキ カイロ ジツゲン ヘ ノ キソ ケントウ
Author/Editor
淀, 徳男, 大阪工業大学
Author Heading
淀, 徳男 ヨド, トクオ
Publication Date
2001-2002
Publication Date (W3CDTF)
2001
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
Si基板 SIキバン
窒化物混晶 チツカブツコンシヨウ
InN INN
ECRプラズマ ECRプラズマ
PL発光 PLハツコウ
六方晶 6ポウシヨウ
立方晶 リツポウシヨウ