スリ-ブ付ダイヤフラム型極細光フアイバ圧力センサの開発

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Material Type: 図書
Title: スリ-ブ付ダイヤフラム型極細光フアイバ圧力センサの開発
Title Transcription: スリ-ブツキダイヤフラムガタゴクボソヒカリフアイバアツリョクセンサノカイハツ
Author/Editor: 高橋, 幸郎, 埼玉大学
Author Heading: 高橋, 幸郎タカハシ, コウロウ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 圧力センサアツリヨクセンサ
プラズマエツチングプラズマエツチング
光フアイバヒカリフアイバ
CMP CMP
ダイヤフラムダイヤフラム
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650369
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650369
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089307
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089307
Bibliographic Record Category (NDL): 214