Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究

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Material Type: 図書
Title: Si半導体ウエハ-の温度計測法の研究
Title Transcription: Si ハンドウタイウエハ- ノオンドケイソクホウノケンキュウ
Author/Editor: 井内, 徹, 東洋大学
Author Heading: 井内, 徹イウチ, トオル
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: シリコンシリコン
半導体ハンドウタイ
ウエハ- ウエハ-
放射測温ホウシヤソクオン
放射率ホウシヤリツ
偏光ヘンコウ
酸化膜サンカマク
薄膜ハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13650468
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13650468
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007089373
http://id.ndl.go.jp/bib/000007089373
Bibliographic Record Category (NDL): 214