環境低負荷半導体構成材料の多価イオン生成とのプロセス応用に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 環境低負荷半導体構成材料の多価イオン生成とのプロセス応用に関する研究
Title Transcription: カンキョウテイフカハンドウタイコウセイザイリョウノタカイオンセイセイトノプロセスオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 加藤, 裕史, 富山県立大学
Author Heading: 加藤, 裕史カトウ, ユウシ
Publication Date: 2001-2002
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ECR ECR
多価イオンタカイオン
固体ソ-スコタイソ-ス
Fe FE
Si SI
環境低負荷カンキヨウテイフカ
半導体構成材料ハンドウタイコウセイザイリヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13680562
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13680562
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007091659
http://id.ndl.go.jp/bib/000007091659
Bibliographic Record Category (NDL): 214