博士論文

ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究

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ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-D482
Bibliographic ID of National Diet Library
000007418118
Material type
博士論文
Author
松本武 [著]
Publisher
[松本武]
Publication date
2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ミリハ オヨビ ECR プラズマ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松本武 [著]
Author Heading
松本, 武 マツモト, タケシ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2003
Publication Date (W3CDTF)
2003
Extent
1冊
Degree grantor/type
大阪大学