超高真空連続プロセスによる化合物半導体の微細構造形成技術に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 超高真空連続プロセスによる化合物半導体の微細構造形成技術に関する研究
Title Transcription: チョウコウシンクウレンゾクプロセスニヨルカゴウブツハンドウタイノビサイコウゾウケイセイギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 河本滋 [著]
Author Heading: 河本, 滋コウモト, シゲル
Publication, Distribution, etc.: [河本滋]
Publication Date: [2004]
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 名古屋大学
Date Granted: 平成16年2月27日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 乙第6296号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2004-E878
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007425118
http://id.ndl.go.jp/bib/000007425118
Bibliographic Record Category (NDL): 213