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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ヒショウシツ シリコン ノ カイソウ エピタキシャル セイチョウ ノ ゲンシテキ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 斎藤敏夫 [著]
- Author Heading
- 斎藤, 敏夫 サイトウ, トシオ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 昭和58年3月8日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 甲第573号