博士論文

非晶質シリコンの回相エピタキシャル成長の原子的機構に関する研究

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非晶質シリコンの回相エピタキシャル成長の原子的機構に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-58-D329
Bibliographic ID of National Diet Library
000007457770
Material type
博士論文
Author
斎藤敏夫 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
早稲田大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ヒショウシツ シリコン ノ カイソウ エピタキシャル セイチョウ ノ ゲンシテキ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
斎藤敏夫 [著]
Author Heading
斎藤, 敏夫 サイトウ, トシオ
Extent
Degree grantor/type
早稲田大学
Date Granted
昭和58年3月8日
Date Granted (W3CDTF)
1983
Dissertation Number
甲第573号