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博士論文

Studies on the preparation and properties of thin films of metal oxides and nitrides and their application to semiconductor devices

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Studies on the preparation and properties of thin films of metal oxides and nitrides and their application to semiconductor devices

Call No. (NDL)
UT51-58-E565
Bibliographic ID of National Diet Library
000007467055
Material type
博士論文
Author
松尾武 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
九州大学,理学博士
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Note (General):

博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
松尾武 [著]
Author Heading
松尾, 武 マツオ, タケシ
Extent
Alternative Title
金属酸化物および窒化物薄膜の生成と性質ならびにそれらの半導体デバイスへの応用に関する研究 キンゾク サンカブツ オヨビ チッカブツ ハクマク ノ セイセイ ト セイシツ ナラビニ ソレラ ノ ハンドウタイ デバイス エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
九州大学
Date Granted
昭和57年12月22日
Date Granted (W3CDTF)
1982
Dissertation Number
乙第2933号