博士論文

クリーンルーム構成材料から発生するガス状有機物質の発生特性と気中濃度の推定に関する研究

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クリーンルーム構成材料から発生するガス状有機物質の発生特性と気中濃度の推定に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-G315
Bibliographic ID of National Diet Library
000007472777
Material type
博士論文
Author
田村一 [著]
Publisher
[田村一]
Publication date
[2002]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
クリーンルーム コウセイ ザイリョウ カラ ハッセイスル ガスジョウ ユウキ ブッシツ ノ ハッセイ トクセイ ト キチュウ ノウド ノ スイテイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
田村一 [著]
Author Heading
田村, 一 タムラ, ハジメ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2002]
Publication Date (W3CDTF)
2002
Extent
1冊
Degree grantor/type
東京工業大学