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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- Si ノ プラズマ エッチング ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 川田博昭 [著]
- Author Heading
- 川田, 博昭 カワタ, ヒロアキ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 大阪府立大学
- Date Granted
- 昭和58年8月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1983
- Dissertation Number
- 甲第209号