博士論文

マグネトロンスパッタリングによる薄膜作製技術に関する研究

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マグネトロンスパッタリングによる薄膜作製技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-58-J490
Bibliographic ID of National Diet Library
000007480066
Material type
博士論文
Author
細川直吉 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
マグネトロンスパッタリングによる薄膜作製技術に関する研究
Title Transcription
マグネトロン スパッタリング ニ ヨル ハクマク サクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
細川直吉 [著]
Author Heading
細川, 直吉 ホソカワ, ナオキチ
Extent
冊
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
昭和58年6月27日
Date Granted (W3CDTF)
1983
Dissertation Number
乙第3154号