TaNx材料を用いた薄膜抵抗素子の高精度化と薄膜サブマウントへの応用に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: TaNx材料を用いた薄膜抵抗素子の高精度化と薄膜サブマウントへの応用に関する研究
Title Transcription: TaNx ザイリョウオモチイタハクマクテイコウソシノコウセイドカトハクマクサブマウントエノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小畑元樹 [著]
Author Heading: 小畑, 元樹オバタ, モトキ
Publication, Distribution, etc.: [小畑元樹]
Publication Date: 2004
Publication Date (W3CDTF): 2004
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 信州大学
Date Granted: 平成16年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 2004
Dissertation Number: 甲第318号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2004-H950
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007484726
http://id.ndl.go.jp/bib/000007484726
Bibliographic Record Category (NDL): 213