博士論文

TaNx材料を用いた薄膜抵抗素子の高精度化と薄膜サブマウントへの応用に関する研究

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TaNx材料を用いた薄膜抵抗素子の高精度化と薄膜サブマウントへの応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-H950
Bibliographic ID of National Diet Library
000007484726
Material type
博士論文
Author
小畑元樹 [著]
Publisher
[小畑元樹]
Publication date
2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
信州大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
TaNx ザイリョウ オ モチイタ ハクマク テイコウ ソシ ノ コウセイドカ ト ハクマク サブマウント エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
小畑元樹 [著]
Author Heading
小畑, 元樹 オバタ, モトキ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2004
Publication Date (W3CDTF)
2004
Extent
1冊
Degree grantor/type
信州大学