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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 森脇和幸 [著]
- Author Heading
- 森脇, 和幸 モリワキ, カズユキ
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- ナノメートル構造素子作製のためのイオンビームリソグラフィ ナノメートル コウゾウ ソシ サクセイ ノ タメノ イオン ビーム リソグラフィ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 昭和57年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1982
- Dissertation Number
- 甲第2832号