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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- Ho Qvoc Vu [著]
- Author Heading
- Ho Qvoc Vu ホー コック ヴー
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- Siのプラズマ陽極酸化及びデバイス・集積回路製造への応用に関する研究 Si ノ プラズマ ヨウキョク サンカ オヨビ デバイス シュウセキ カイロ セイゾウ エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 昭和57年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1982
- Dissertation Number
- 甲第5824号