博士論文

大規模な原子レベルシミュレーションによるSiO2/Si界面構造に関する研究

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大規模な原子レベルシミュレーションによるSiO2/Si界面構造に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-K97
Bibliographic ID of National Diet Library
000007551072
Material type
博士論文
Author
辰村光介 [著]
Publisher
[辰村光介]
Publication date
2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
早稲田大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ダイキボナ ゲンシ レベル シミュレーション ニ ヨル SiO2 Si カイメン コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
辰村光介 [著]
Author Heading
辰村, 光介 タツムラ, コウスケ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2004
Publication Date (W3CDTF)
2004
Extent
1冊
Alternative Title
A study on the SiO2/Si interface structure by large-scale atomistic simulation