新タイプ磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成法を用いた新しいスパッタ装置の開発

Call No. (NDL): Y151-H14550269
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007572061

Material type: 図書

Author: 本田親久, 宮崎大学 [著]

Publisher: [本田親久]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 新タイプ磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成法を用いた新しいスパッタ装置の開発
Title Transcription: シンタイプジキチュウセイセンホウデン NLD プラズマセイセイホウオモチイタアタラシイスパッタソウチノカイハツ
Author/Editor: 本田親久, 宮崎大学 [著]
Author Heading: 本田, 親久ホンダ, チカヒサ
宮崎大学ミヤザキダイガク
Publication, Distribution, etc.: [本田親久]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 磁気中性線放電プラズマ / NLDプラズマ / プロセスプラズマ / スパッタリング / 容量結合型プラズマ / プラズマ局在化 / プラズマ動的制御 / 電子加熱ジキチュウセイセンホウデンプラズマ / NLD プラズマ / プロセスプラズマ / スパッタリング / ヨウリョウケツゴウガタプラズマ / プラズマキョクザイカ / プラズマドウテキセイギョ / デンシカネツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550269
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550269
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007572061
http://id.ndl.go.jp/bib/000007572061
Bibliographic Record Category (NDL): 214