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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンノウセイ イオン ビーム エッチング ニ ヨル カイセツ コウシ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 松井眞二 [著]
- Author Heading
- 松井, 眞二 マツイ, シンジ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 昭和56年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1981
- Dissertation Number
- 甲第2694号