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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュウセキ カイロ セイゾウ プロセス ニ オケル ドライ エッチング ギジュツ ノ ケンキュウ ト カイハツ
- Author/Editor
- 堀池靖浩 [著]
- Author Heading
- 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 昭和56年2月20日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1981
- Dissertation Number
- 乙第375号