理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究

• Material Type: 図書
• Title: 理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究
• Title Transcription: リロン ケイサン ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク タイセキ カテイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 渡邉聡, 東京大学 [著]
• Author Heading: 渡邉, 聡 ワタナベ, サトシ; 東京大学 トウキョウ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [渡邉聡]
• Publication Date: 2001-2003; 2004.4
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2003
• Extent: 83p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: 立方晶窒化ホウ素 / 薄膜堆積過程 / 古典分子動力学法 / 密度汎関数法 / 高速入射粒子 リッポウショウ チッカ ホウソ / ハクマク タイセキ カテイ / コテン ブンシ ドウリョクガクホウ / ミツド ハンカンスウホウ / コウソク ニュウシャ リュウシ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450020
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13450020
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007588263; http://id.ndl.go.jp/bib/000007588263
• Bibliographic Record Category (NDL): 214