ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

• Material Type: 図書
• Title: ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立
• Title Transcription: ナノメートル ブンカイノウ ノ サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ ノ カイリョウ ト セイド ヒョウカ シュホウ ノ カクリツ
• Author/Editor: 高増潔, 東京大学 [著]
• Author Heading: 高増, 潔 タカマス, キヨシ; 東京大学 トウキョウ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [高増潔]
• Publication Date: 2001-2003; 2004.5
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2003
• Extent: 106p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: ナノメートル計測 / 三次元座標測定機 / ステージ / 精度評価 / 形状測定 ナノメートル ケイソク / サンジゲン ザヒョウ ソクテイキ / ステージ / セイド ヒョウカ / ケイジョウ ソクテイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555070
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555070
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007590779; http://id.ndl.go.jp/bib/000007590779
• Bibliographic Record Category (NDL): 214