博士論文

金属シリサイドおよびシリコンの固相エピタキシャル成長に関する研究

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金属シリサイドおよびシリコンの固相エピタキシャル成長に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-56-K80
Bibliographic ID of National Diet Library
000007593962
Material type
博士論文
Author
齋藤修一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,工学博士
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
金属シリサイドおよびシリコンの固相エピタキシャル成長に関する研究
Title Transcription
キンゾク シリサイド オヨビ シリコン ノ コソウ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
齋藤修一 [著]
Author Heading
齋藤, 修一 サイトウ, シュウイチ
Extent
冊
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
昭和56年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1981
Dissertation Number
甲第1299号