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選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究

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選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H13305023
Bibliographic ID of National Diet Library
000007599777
Material type
図書
Author
澤木宣彦, 名古屋大学 [著]
Publisher
[澤木宣彦]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
199p
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究
Title Transcription
センタク セイチョウホウ ニ ヨル シリコン キバンジョウ エノ シュウセキケイ チッカブツ ハンドウタイ デバイス ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
澤木宣彦, 名古屋大学 [著]
Author Heading
沢木, 宣彦, 1945- サワキ, ノブヒコ, 1945- ( 00373790 )Authorities
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[澤木宣彦]
Publication Date
2001-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
199p
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)