光音響法による次世代ステッパー用レンズ高精度透過率計測の研究

Call No. (NDL): Y151-H14350221
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007599805

Material type: 図書

Author: 石丸伊知郎, 香川大学 [著]

Publisher: [石丸伊知郎]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 92p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 光音響法による次世代ステッパー用レンズ高精度透過率計測の研究
Title Transcription: ヒカリオンキョウホウニヨルジセダイステッパーヨウレンズコウセイドトウカリツケイソクノケンキュウ
Author/Editor: 石丸伊知郎, 香川大学 [著]
Author Heading: 石丸, 伊知郎イシマル, イチロウ
香川大学カガワダイガク
Publication, Distribution, etc.: [石丸伊知郎]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 92p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ステッパ / フッ化カルシューム / レンズ / 透過率 / 吸収係数 / 光熱変換効果 / 光音響 / 光カロリメトリステッパ / フッカカルシューム / レンズ / トウカリツ / キュウシュウケイスウ / コウネツヘンカンコウカ / ヒカリオンキョウ / ヒカリカロリメトリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350221
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350221
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007599805
http://id.ndl.go.jp/bib/000007599805
Bibliographic Record Category (NDL): 214