博士論文

ULSI製造における高精度プラズマエッチングに関する研究

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ULSI製造における高精度プラズマエッチングに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2004-P592
Bibliographic ID of National Diet Library
000007613515
Material type
博士論文
Author
大竹浩人 [著]
Publisher
[大竹浩人]
Publication date
[2004]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
ULSI製造における高精度プラズマエッチングに関する研究
Title Transcription
ULSI セイゾウ ニ オケル コウセイド プラズマ エッチング ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
大竹浩人 [著]
Author Heading
大竹, 浩人 オオタケ, ヒロト
Publication, Distribution, etc.
[大竹浩人]
Publication Date
[2004]
Publication Date (W3CDTF)
2004
Extent
1冊
Degree grantor/type
東北大学