内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発

Call No. (NDL): Y151-H13555199
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007622722

Material type: 図書

Author: 節原裕一, 京都大学 [著]

Publisher: [節原裕一]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 70p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
Title Transcription: ナイブアンテナガタダイヨウセキ RF プラズマゲンオモチイタコウセイノウプラズマイオンチュウニュウプロセスノカイハツ
Author/Editor: 節原裕一, 京都大学 [著]
Author Heading: 節原, 裕一セツハラ, ユウイチ
京都大学キョウトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [節原裕一]
Publication Date: 2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 70p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 誘導結合プラズマ / 内部アンテナ / 低インダクタンス / 大容積プラズマ / プラズマイオン注入プロセスユウドウケツゴウプラズマ / ナイブアンテナ / テイインダクタンス / ダイヨウセキプラズマ / プラズマイオンチュウニュウプロセス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555199
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555199
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007622722
http://id.ndl.go.jp/bib/000007622722
Bibliographic Record Category (NDL): 214