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原子層MOCVDと分光エリプソメトリによる高誘電率酸化膜超薄膜の原子レベル制御

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原子層MOCVDと分光エリプソメトリによる高誘電率酸化膜超薄膜の原子レベル制御

Call No. (NDL)
Y151-H14350160
Bibliographic ID of National Diet Library
000007623641
Material type
図書
Author
小田俊理, 東京工業大学 [著]
Publisher
[小田俊理]
Publication date
2002-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
原子層MOCVDと分光エリプソメトリによる高誘電率酸化膜超薄膜の原子レベル制御
Title Transcription
ゲンシソウ MOCVD ト ブンコウ エリプソメトリ ニ ヨル コウユウデンリツ サンカマク チョウハクマク ノ ゲンシ レベル セイギョ
Author/Editor
小田俊理, 東京工業大学 [著]
Author Heading
著者 ： 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )Authorities
東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク ( 00259309 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[小田俊理]
Publication Date
2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
2003
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)