超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発

Call No. (NDL): Y151-H14550407
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007627891

Material type: 図書

Author: Bratescu Maria A., 北海道大学 [著]

Publisher: [Bratescu Maria A.]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発
Title Transcription: チョウコウヒンシツハクマクタイセキプラズマヒョウカヨウエバネセントレーザブンコウシンダンシステムノカイハツ
Author/Editor: Bratescu Maria A., 北海道大学 [著]
Author Heading: Bratescu, Maria Antoaneta ブラテスク, マリアアントワネッタ
北海道大学ホッカイドウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [Bratescu Maria A.]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: レーザ分光 / エヴァネセント波 / 薄膜堆積 / レーザアブレーション / 励起粒子密度 / プラズマ診断 / ラジカル密度レーザブンコウ / エヴァネセントハ / ハクマクタイセキ / レーザアブレーション / レイキリュウシミツド / プラズマシンダン / ラジカルミツド
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550407
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550407
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007627891
http://id.ndl.go.jp/bib/000007627891
Bibliographic Record Category (NDL): 214