高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究
Title Transcription: コウセイノウアモルファスシリコンカーバイド SiC ノチョウコウソクセイマクニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 芳井熊安, 大阪大学 [著]
Author Heading: 芳井, 熊安ヨシイ, クマヤス
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [芳井熊安]
Publication Date: 2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 21枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 大気圧プラズマCVD / アモルファスSiC / 超高速成膜タイキアツプラズマ CVD / アモルファス SiC / チョウコウソクセイマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450058
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450058
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007629693
http://id.ndl.go.jp/bib/000007629693
Bibliographic Record Category (NDL): 214