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シリコン/酸化物界面およびシリコン表面の化学構造の新規評価法の開拓

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シリコン/酸化物界面およびシリコン表面の化学構造の新規評価法の開拓

Call No. (NDL)
Y151-H14550792
Bibliographic ID of National Diet Library
000007630902
Material type
図書
Author
松村道雄, 大阪大学 [著]
Publisher
[松村道雄]
Publication date
2002-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコン サンカブツ カイメン オヨビ シリコン ヒョウメン ノ カガク コウゾウ ノ シンキ ヒョウカホウ ノ カイタク
Author/Editor
松村道雄, 大阪大学 [著]
Author Heading
松村, 道雄 マツムラ, ミチオ
大阪大学 オオサカ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF)
2002
2003
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)