放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究

Call No. (NDL): Y151-H13450299
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007632825

Material type: 図書

Author: 服部正, 姫路工業大学 [著]

Publisher: [服部正]

Publication date: 2001-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 放射光による任意形状のマイクロ立体構造体デバイス作製プロセスの研究
Title Transcription: ホウシャコウニヨルニンイケイジョウノマイクロリッタイコウゾウタイデバイスサクセイプロセスノケンキュウ
Author/Editor: 服部正, 姫路工業大学 [著]
Author Heading: 服部, 正ハットリ, タダシ
姫路工業大学ヒメジコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [服部正]
Publication Date: 2001-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 放射光 / LIGA / マイクロマシン / X線マスク / ナノ・マイクロファブリケーション / マイクロシステム / MEMS / NEMS ホウシャコウ / LIGA / マイクロマシン / Xセンマスク / ナノ・マイクロファブリケーション / マイクロシステム / MEMS / NEMS
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13450299
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13450299
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007632825
http://id.ndl.go.jp/bib/000007632825
Bibliographic Record Category (NDL): 214