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減圧CVD成膜における気相反応の電界制御

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減圧CVD成膜における気相反応の電界制御

Call No. (NDL)
Y151-H13450329
Bibliographic ID of National Diet Library
000007632838
Material type
図書
Author
足立元明, 大阪府立大学 [著]
Publisher
[足立元明]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゲンアツ CVD セイマク ニ オケル キソウ ハンノウ ノ デンカイ セイギョ
Author/Editor
足立元明, 大阪府立大学 [著]
Author Heading
足立, 元明 アダチ, モトアキ
大阪府立大学 オオサカ フリツ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)