Studies on low temperature growth of silicon oxide and nitride films using electron cyclotron resonance plasma irradiation

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on low temperature growth of silicon oxide and nitride films using electron cyclotron resonance plasma irradiation
• Author/Editor: Luu Hoai Nam [著]
• Author Heading: Luu Hoai Nam ルー ホアイ ナム
• Publication, Distribution, etc.: [Luu Hoai Nam]
• Publication Date: [2004]
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 電子サイクロトロン共鳴プラズマ照射によるシリコン酸化膜と窒化膜の低温成長に関する研究 デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマ ショウシャ ニ ヨル シリコン サンカマク ト チッカマク ノ テイオン セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成16年9月21日
• Date Granted (W3CDTF): 2004
• Dissertation Number: 甲第7067号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2004-R893
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007649549; http://id.ndl.go.jp/bib/000007649549
• Bibliographic Record Category (NDL): 213