三次元赤外光弾性CT法を用いた大口径半導体結晶塊中の残留歪みの非破壊評価

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Material Type: 図書
Title: 三次元赤外光弾性CT法を用いた大口径半導体結晶塊中の残留歪みの非破壊評価
Title Transcription: サンジゲンセキガイコウダンセイ CTホウオモチイタダイコウケイハンドウタイケッショウカイチュウノザンリュウヒズミノヒハカイヒョウカ
Author/Editor: 山田正良, 京都工芸繊維大学 [著]
Author Heading: 山田, 正良ヤマダ, マサヨシ
京都工芸繊維大学キョウトコウゲイセンイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [山田正良]
Publication Date: 2001-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 48枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 半導体 / 赤外光弾性 / 非破壊評価 / 残留歪みハンドウタイ / セキガイヒカリダンセイ / ヒハカイヒョウカ / ザンリュウヒズミ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555004
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13555004
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007651088
http://id.ndl.go.jp/bib/000007651088
Bibliographic Record Category (NDL): 214