PLD法による環境保護用高選択性・高感度薄膜大気ガスセンサの開発

• Material Type: 図書
• Title: PLD法による環境保護用高選択性・高感度薄膜大気ガスセンサの開発
• Title Transcription: PLDホウ ニ ヨル カンキョウ ホゴヨウ コウセンタクセイ コウカンド ハクマク タイキ ガス センサ ノ カイハツ
• Author/Editor: 須田義昭, 佐世保工業高等専門学校 [著]
• Author Heading: 須田, 義昭 スダ, ヨシアキ; 佐世保工業高等専門学校 サセボ コウギョウ コウトウ センモン ガッコウ
• Publication, Distribution, etc.: [須田義昭]
• Publication Date: 2001-2003; 2004.3
• Publication Date (W3CDTF): 2001; 2003
• Extent: 89p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: 薄膜ガスセンサ / PLD法 / SnO_2 / WO_3 / Nd : YAGレーザ / スパッタリング法 / XPS / Pd ハクマク ガスセンサ / PLD ホウ / SnO_2 / WO_3 / Nd : YAG レーザ / スパッタリングホウ / XPS / Pd
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13555098
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H13555098
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007651169; http://id.ndl.go.jp/bib/000007651169
• Bibliographic Record Category (NDL): 214