RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H14550288
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007672386

Material type: 図書

Author: 宮崎卓幸, 群馬大学 [著]

Publisher: [宮崎卓幸]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
Title Transcription: RF スパッタホウニヨル 3ゾクチッカブツハンドウタイハクマクノサクセイトソノトクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 宮崎卓幸, 群馬大学 [著]
Author Heading: 宮崎, 卓幸ミヤザキ, タカユキ
群馬大学グンマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [宮崎卓幸]
Publication Date: 2002-2003
2004.5
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 反応性スパッタリング / 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的性質 / 誘電率 / バンドギャップ / 分光エリプソメータハンノウセイスパッタリング / チッカブツハンドウタイ / InN / GaN / コウガクテキセイシツ / ユウデンリツ / バンドギャップ / ブンコウエリプソメータ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550288
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550288
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007672386
http://id.ndl.go.jp/bib/000007672386
Bibliographic Record Category (NDL): 214