表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発

Call No. (NDL): Y151-H14540381
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007673077

Material type: 図書

Author: 林啓治, 金沢工業大学 [著]

Publisher: [林啓治]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 表面反応制御用高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発
Title Transcription: ヒョウメンハンノウセイギョヨウコウヒンシツチュウセイラジカルビームノセイセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 林啓治, 金沢工業大学 [著]
Author Heading: 林, 啓治ハヤシ, ケイジ
金沢工業大学カナザワコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [林啓治]
Publication Date: 2002-2003
2004.6
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 中性フリーラジカルビーム / 可視CWレーザー光励起 / 負イオンビーム / 表面素過程制御 / 高感度その場観察手法 / 第一原理物性シミュレーション / 化学物理 / ナノデバイスプロセス開発チュウセイフリーラジカルビーム / カシ CW レーザーコウレイキ / フイオンビーム / ヒョウメンソカテイセイギョ / コウカンドソノバカンサツシュホウ / ダイイチゲンリブッセイシミュレーション / カガクブツリ / ナノデバイスプロセスカイハツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14540381
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14540381
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007673077
http://id.ndl.go.jp/bib/000007673077
Bibliographic Record Category (NDL): 214