集束イオンビーム走査による試料表面の二次電子像コントラストに関する研究

Call No. (NDL): Y151-H14550026
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007673213

Material type: 図書

Author: 大宅薫, 徳島大学 [著]

Publisher: [大宅薫]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 220p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 集束イオンビーム走査による試料表面の二次電子像コントラストに関する研究
Title Transcription: シュウソクイオンビームソウサニヨルシリョウヒョウメンノニジデンシゾウコントラストニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 大宅薫, 徳島大学 [著]
Author Heading: 大宅, 薫オオヤ, カオル
徳島大学トクシマダイガク
Publication, Distribution, etc.: [大宅薫]
Publication Date: 2002-2003
2004.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 220p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 集束イオンビーム (FIB) / 走査イオン顕微鏡 (SIM) / 走査電子顕微鏡 (SEM) / 二次電子放出 / スパッタリング / モンテカルロシミュレーションシュウソクイオンビーム (FIB) / ソウサイオンケンビキョウ (SIM) / ソウサデンシケンビキョウ (SEM) / ニジデンシホウシュツ / スパッタリング / モンテカルロシミュレーション
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14550026
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14550026
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007673213
http://id.ndl.go.jp/bib/000007673213
Bibliographic Record Category (NDL): 214