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超高速LSI用Cu配線におけるボイド形成機構の研究

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超高速LSI用Cu配線におけるボイド形成機構の研究

Call No. (NDL)
Y151-H13450281
Bibliographic ID of National Diet Library
000007674767
Material type
図書
Author
小池淳一, 東北大学 [著]
Publisher
[小池淳一]
Publication date
2001-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウコウソク LSIヨウ Cu ハイセン ニ オケル ボイド ケイセイ キコウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
小池淳一, 東北大学 [著]
Author Heading
小池, 淳一 コイケ, ジュンイチ
東北大学 トウホク ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2001-2003
2004.7
Publication Date (W3CDTF)
2001
2003
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)