高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究
Title Transcription: コウミツドプラズマスパッタリングニヨルナノコンポジットチョウコウシツハクマクゴウセイノケンキュウ
Author/Editor: 三宅正司, 大阪大学 [著]
Author Heading: 三宅, 正司ミヤケ, ショウジ
大阪大学オオサカダイガク
Publication, Distribution, etc.: [三宅正司]
Publication Date: 2001-2003
2004.10
Publication Date (W3CDTF): 2001
2003
Extent: 94p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: ナノコンポジット / 超硬質薄膜 / 窒化物薄膜 / スパッタリング / イオンビームナノコンポジット / チョウコウシツハクマク / チッカブツハクマク / スパッタリング / イオンビーム
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13305053
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13305053
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007675181
http://id.ndl.go.jp/bib/000007675181
Bibliographic Record Category (NDL): 214