多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発

Call No. (NDL): Y151-H14350074
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007692274

Material type: 図書

Author: 峠睦, 熊本大学 [著]

Publisher: [峠睦]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 246p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 多機能デバイス基板の超薄型化加工技術の研究開発
Title Transcription: タキノウデバイスキバンノチョウウスガタカカコウギジュツノケンキュウカイハツ
Author/Editor: 峠睦, 熊本大学 [著]
Author Heading: 峠, 睦トウゲ, ムツミ
熊本大学クマモトダイガク
Publication, Distribution, etc.: [峠睦]
Publication Date: 2002-2003
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 246p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多機能デバイス基板 / 水晶振動子 / 超薄型化加工 / 砥粒加工 / ラッピング / ポリシング / チタン酸バリウム / シリコンウェハタキノウデバイスキバン / スイショウシンドウシ / チョウウスガタカカコウ / トリュウカコウ / ラッピング / ポリシング / チタンサンバリウム / シリコンウェハ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350074
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350074
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007692274
http://id.ndl.go.jp/bib/000007692274
Bibliographic Record Category (NDL): 214